摘要
本发明涉及水处理除氟剂生产技术领域,具体为水处理除氟剂及其制备方法和应用。本发明针对半导体芯片制造蚀刻工艺产生的含氟、铜、铁离子的废水,通过添加特定的原料和采用合理的处理步骤,不仅能有效去除氟离子,还能兼顾铜、铁离子的去除或降低其对除氟的影响(特别是对经硫化钠这类专门去除铜、铁离子的去除剂简单处理后的废水),对特定水质的蚀刻废水具有很强的针对性和适用性;协同性好,兼具可操作性与灵活性,保证了处理效果。
技术关键词
二氧化钛纳米管
羟基磷灰石
膨润土复合
去离子水
除氟剂
悬浮液
壳聚糖
活性氧化铝
溶液
氟锆酸钾
纳米二氧化硅
十六烷基三甲基溴化铵
吸附剂
硝酸钙
半导体芯片
原子吸收光谱法
氯化锌
多巴胺
蚀刻工艺