一种用于LED芯片干法蚀刻的载片治具

一种用于LED芯片干法蚀刻的载片治具，涉及半导体技术领域，包括设置有两个保护机构的壳体机构，设置在壳体机构内部的用于控制两个保护机构工作的总控机构，分别设置在两个保护机构下端的两个冷却机构，以及为两个冷却机构提供氦气，并避免因输入的气压太大造成晶圆受损的缓冲机构；该设备能够将载台收入到设备内部，避免直接暴露载台，对载台进行有效保护；该设备能够在对晶圆进行蚀刻时，将载台抬升出设备，操作简单，实用性高；该设备能够对载台进行均匀有效冷却降温，提高设备利用率的同时，保证LED芯片干法蚀刻顺利进行。