一种通过深度剖析数据自动提取薄膜物理参数的方法

本发明公开了一种通过深度剖析数据自动提取薄膜物理参数的方法，包括：首先，通过实验获得深度剖析数据。其次，初始化协同粒子群算法的运行参数，并引入动态调整与重置机制。最后，基于MRI模型对实验数据进行卷积拟合，精确计算每个粒子的适应度，以实现快速有效的参数更新。通过采用多策略协同粒子群优化算法，本发明能够精准高效地从薄膜深度剖析数据中自动提取MRI模型的物理参数。动态调整与重置机制的引入，不仅提高了算法的收敛速度，还克服了粒子群算法易陷入局部最优的问题。此外，在噪声环境下，该方法仍能保持出色的结果。