一种基于晶圆特征判断的OLT开环电压设置方法及装置

本发明公开了一种基于晶圆特征判断的OLT开环电压设置方法及装置，旨在解决传统晶圆加热过程中低温阶段温度监测不准确从而无法确定加热灯功率的问题。该方法通过对晶圆的加热性能进行量化为特征值，基于特征值确定了不同加热通道在不同气压和晶圆类型下的最佳加热功率，以及调整电压设置跑通开环阶段，最终提升了晶圆加热过程的稳定性和精确性。