基于缺陷区域图像的AOI光学配置方法、系统、电子设备、存储介质和计算机程序产品

本发明提供了一种基于缺陷区域图像的AOI光学配置方法、系统、电子设备、存储介质和计算机程序产品。该AOI光学配置方法包括：获取预设数量的待检测样品的缺陷区域图像，缺陷区域图像是在初始AOI光学配置的配置环境下所确定的；对预设数量的待检测样品的缺陷区域图像和标准样品的标准图像进行图像差分处理，以确定出初始AOI光学配置的缺陷暴露能力；根据预设搜索算法确定出使得缺陷暴露能力满足预设要求的目标AOI光学配置，以指示用户根据目标AOI光学配置对初始光学配置进行调整。