晶圆颗粒预测方法及预测系统、炉管颗粒风险控制方法

本发明提供晶圆颗粒预测方法及系统、炉管颗粒风险控制方法。通过在晶舟的上中下三端放置监控片，根据炉管的保养周期内颗粒行为规律预测监控片上的颗粒数；并根据监控片上的颗粒数预测晶舟不同晶圆承载位置上的晶圆的颗粒数；以及基于晶圆的芯片数目计算出每组晶圆的颗粒缺陷率，进一步计算不同排列顺序下每组所有晶圆在晶舟不同晶圆承载位置的风险总值，并选择风险总值最低的符合要求的排列顺序进行作业。本发明中建立起炉管作业的颗粒预测系统，对每个作业批次的颗粒行为进行有效地预测，进一步的根据产品芯片数目差异对不同的产品进行炉管机台以及炉管位置合理的配置，从而达到降低低压化学沉积炉管的颗粒对产品良率的影响。