摘要
本发明公开了一种可实现芯片产热抑制与快速散热的热管理方法,步骤包括:S1.选择硅作为衬底材料,并进行清洗;S2.以清洗后的衬底材料为基础,制作栅极及氧化层样品;S3.基于栅极及氧化层样品,制作待刻蚀样品;S4.基于待刻蚀样品,制作可实现产热抑制与快速散热的芯片;并通过制备的芯片,完成功率器件的热管理。本发明具有广泛的应用前景,可直接适用于各类电子设备领域,包括但不限于高性能计算系统、数据中心服务器、移动通信设备、集成电路(IC)、微处理器(CPU/GPU)、LED照明装置、电动汽车以及可再生能源转换系统等。本发明可以应对电子器件在运行过程中产生的热量,从而确保器件的稳定运行和延长使用寿命。
技术关键词
气相沉积技术
管理方法
衬底材料表面
可再生能源转换系统
芯片
栅氧化层
梯度掺杂
制作栅极
石墨
LED照明装置
离子注入方法
刻蚀工艺
功率器件
p型掺杂剂
移动通信设备
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