摘要
本发明提供一种半导体制造装置和半导体装置的制造方法,能够在将分离的芯片粘贴到切割带上的状态下进行电特性检查。本发明的半导体装置包括:平台,该平台载置有切割带,所述切割带粘贴有多个半导体芯片;探针,该探针设置在平台上,插入切割带的内部,与半导体芯片相接触;以及测试仪,该测试仪通过探针对半导体芯片进行电特性检查。
技术关键词
半导体芯片
半导体装置
测试仪
平台
弹簧探针
UV照射
弯曲
导线
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