一种用于微型机器人的SCM智能自感知关节铰链及方法

本发明公开了一种用于微型机器人的SCM智能自感知关节铰链及方法，属于微型机器人技术领域。本发明设计了一种嵌入压阻式薄膜传感器的SCM铰链，该传感器加工在SCM铰链中间的聚酰亚胺薄膜上，由微结构刻蚀图案、金属电极及碳纳米管薄膜组成。该传感器利用微结构使聚酰亚胺薄膜表面形成各向异性，从而增大其随铰链弯折时的形变量，同时涂布在微结构上的碳纳米管薄膜会产生强度更大的裂纹，放大金属电极检测到的阻抗变化，提高弯折角度感知精度。本发明不会影响SCM铰链的自身结构，且具有制备过程简单和便于批量化的优点，为微型机器人关节角度感测提供了高效精准的新方案。