一种基于微机电系统的触觉传感装置及机器人

本发明提供了一种基于微机电系统的触觉传感装置及机器人，触觉传感装置包括：壳体，其上形成有凹陷部；电路板，所述电路板安装于所述壳体的凹陷部内，所述电路板的形状与所述凹陷部匹配；多个MEMS压力传感器，阵列于所述电路板上；以及柔性材料，填充于所述凹陷部、所述MEMS压力传感器的压力感应孔，且覆盖所述电路板与所述MEMS压力传感器。通过本发明提供的一种基于微机电系统的触觉传感装置及机器人，能够对力的细微变化做出精准反应。