摘要
本发明涉及碳化硅合成技术领域,公开了可提高固相合成碳化硅出料率的合成方法及碳化硅合成炉,该合成方法包括以下步骤:对碳化硅产物块体进行粉碎、筛分、清洗及干燥处理,得到碳化硅粉末;利用高能球磨技术结合超声波辅助混合技术对碳化硅粉末、碳粉、硅粉及聚四氟乙烯粉末进行混合处理,得到混合原料;将混合原料均匀的铺设在石墨坩埚中,并将石墨坩埚放入碳化硅合成炉中,基于参数优化算法输出的最佳合成参数进行固相合成碳化硅。本发明不仅可以有效的降低固相合成碳化硅的生产成本,显著提高碳化硅的产率,减少生产过程中的能耗和原料浪费,而且还可以通过精确控制合成参数,提高碳化硅产品的质量和纯度。
技术关键词
石墨坩埚
聚四氟乙烯粉末
碳化硅粉末
参数优化算法
固相
氟化石墨
高能球磨技术
感应电源
加热组件
内衬
超声波处理器
保温
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