一种具有良好力学性能的MEMS传感器

本发明公开了一种具有良好力学性能的MEMS传感器，MEMS芯片与PCB线路板堆叠固定，刚性壳体的内部形成内置空腔，通过向空腔内灌胶固化PCB线路板与MEMS芯片的相对位置，实现水平方向上的刚性强度；同时，利用刚性盖板上设置的预紧结构压限在所述MEMS芯片的上部，再将刚性盖板和壳体紧固相连，使得传感器和壳体形成立体的刚性结构，提高了整体刚度。本案最大程度地缩短了PCB线路板与外部力学环境的传递路径，外部力能够直接传递至MEMS芯片最近的位置，产品具备良好的力学传递性能，可有效避免信号衰减，更为精确地感知和测量相对应的物理量。