传感器单元及柔性压力传感器

本申请的柔性压力传感器及其传感器单元，能够利用低成本的MEMS压力芯片进行压力载荷的测量，而且结构简单、对MEMS压力芯片进行有效保护，特别适合用于机器人的压力测量。上述传感器单元包括：具有横向延伸的一弹性膜的压敏元件；传压元件，其具有用于接收并朝纵向近端一侧向弹性膜传递纵向压力的一传压部；及弹性回复元件，用于在纵向压力低于预设压力时使传压元件朝纵向远端一侧脱离或仅抵接于弹性膜。上述柔性压力传感器包括：多个上述传感器单元；及柔性基板，包括：主体层，其上阵列地布置有用于对应容纳多个传感器单元的多个第三腔；设置于主体层的远离弹性回复元件一侧的电路载体层，其上设置有与传感器单元的压敏元件电连接的电路。