摘要
本发明涉及半导体集成电路技术领域,具体公开了一种基于高压功率PMOS管的ESD结构,包括:用于对高压功率PMOS管的输入端到地进行ESD保护的寄生PNP管;寄生PNP管包括作为基极的高压功率PMOS管的源极P有源区、作为集电极的外部的P有源区衬底接地环和作为基电极的高压功率PMOS管的背栅极N有源区环;其中,在正常工作状态下,寄生PNP管处于截止状态;而当静电放电事件发生时,寄生PNP管导通。本发明能够解决现有高压管脚ESD保护器件占用芯片面积较大的问题,占用较小的芯片面积,同时提供较高的ESD保护能力。
技术关键词
有源区
静电放电事件
栅极
半导体集成电路技术
高压
ESD保护器件
功率
距离调节
衬底
接地环
电压
芯片
电极
管脚
间距