敏感膜、MEMS芯片和传感器

本发明公开了一种敏感膜、MEMS芯片和传感器，涉及声电转换设备技术领域，其中，敏感膜包括膜本体和第一环形褶皱部，膜本体包括第一面和第二面，第一环形褶皱部设置于第二面，第一环形褶皱部形成贯穿第一面的第一开口槽，第一环形褶皱部的数量为至少两个，膜本体设置有中心区域，至少两个第一环形褶皱部沿第一方向依次环设于中心区域；任意相邻两个第一环形褶皱部的形状尺寸不完全相同，形状尺寸包括第一环形褶皱部的厚度尺寸，第一开口槽的深度尺寸以及宽度尺寸至少之一，第一方向与振动方向垂直。通过调节第一环形褶皱部的形状尺寸来对MEMS麦克风芯片的机械灵敏度进行调节，从而进一步提高MEMS麦克风芯片的机械灵敏度。