摘要
本申请实施例提供一种芯片、芯片的制造方法及电子设备,涉及电子技术领域,芯片中包含主器件层、衬底层、缓冲层,衬底层上设置有衬底凹槽,以及与衬底凹槽处于同一侧面的衬底键合区,缓冲层的第一缓冲表面上具有第一缓冲键合区,以及第二缓冲表面上具有第二缓冲键合区;第一缓冲键合区与所述衬底键合区键合连接,且衬底凹槽与第一缓冲表面形成缓冲空腔;第二缓冲键合区与主器件层键合连接,主器件层中包含至少一个具有特定功能的器件,第一缓冲键合区和第二缓冲键合区的位置相对应。以降低应力对器件的影响,提高器件输出信号的准确性和稳定性。
技术关键词
键合区
微机电谐振器
敏感结构
微机电振镜
微机电开关
陀螺仪
电极结构
湿度传感器
芯片
刻蚀工艺
温度传感器
凹槽
电子设备
缓冲层
衬底层
贯通槽
空腔
参数