一种晶圆制造系统的调度方法、装置及设备

本发明提供了一种晶圆制造系统的调度方法、装置及设备。方法包括：根据晶圆加工路线以及约束条件，采用Petri网模型构建时间Petri网模型；约束条件为添加在变迁或库所上的时延；计算时间Petri网模型的关联矩阵，利用关联矩阵计算得到发射次数；发射次数为在时间Petri网模型下，从初始标识到目标标识各个变迁对应的发射次数；利用发射次数结合最短工序时间优先策略运行时间Petri网模型，并在时间Petri网模型的运行过程中采用多步回退处理死锁问题，得到晶圆制造系统的调度结果；其中，最短工序时间优先策略在每一个标识下均只保留预设个数的使能变迁。在晶圆制造系统稳定运行的基础上提高了调度结果的生成效率。