一种立式扩散炉晶圆转运机器人

本发明涉及晶圆转运技术领域，尤其涉及一种立式扩散炉晶圆转运机器人，包括安装板，安装板依次通过转动机构和平移机构安装有安装架，转动机构和平移机构用于实现安装架转动和伸缩位移；安装架与托盘固定，安装架上安装有夹持部和推送部，夹持部用于将晶圆按压在托盘上，推送部用于将晶圆向立式扩散炉中推送。本发明通过该转运机器人将流水线上的晶圆通过自动化机械转运至立式扩散炉中，一方面避免了柔性线操作的人工成本浪费问题，另一方面改善了晶圆装炉均匀性、到位性差的问题，从而能够大幅度提高产品质量。