芯片早夭失效的检测方法和检测系统

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芯片早夭失效的检测方法和检测系统
申请号:CN202510155354
申请日期:2025-02-12
公开号:CN119827957A
公开日期:2025-04-15
类型:发明专利
摘要
本公开提供芯片早夭期失效的检测方法、检测系统、检测设备、计算机可读存储介质,所述检测方法包括:先对至少一测试晶圆中的多个芯片进行芯片测试,根据芯片测试结果,将芯片测试结果符合测试规范的芯片判定为良品芯片,将芯片测试结果不符合测试规范的芯片判定为失效芯片;再对芯片测试后的良品芯片和失效芯片进行测后检测及分析,从所述良品芯片中确定潜在早夭失效芯片。相比于相关技术,本公开能在芯片测试后,还对良品芯片和失效芯片进行测后检测及分析,充分考虑良品芯片的潜在失效情况,通过一定的分析,从所述良品芯片中确定潜在早夭失效芯片,可避免在客户端失效造成质量事故,具有检测简单、快速高效、且可靠等优点。
技术关键词
芯片测试模块 检测设备 可读存储介质 故障检测 晶圆 分析模块 计算机 处理器 动态 客户端 存储器 应力 零件 电压 参数
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