摘要
用于多重系统结构优化和面形误差求解的虚实融合方法,能够提升子孔径拼接干涉法的抗振性,规避复杂的拼接算法,降低系统装调难度,并修正其回程误差。其包括:(1)确定控制难度大或对像面波前影响较大的装调误差及其可能的最大取值;(2)各装调误差对像面波前的影响分析;(3)针对各装调误差对各项泽尼克系数的影响进行分析,基于影响大小与独立或耦合情况确定装调误差的校准方案;(4)对理想的虚拟干涉仪进行优化,得到装调误差校准后的虚拟干涉仪,其与实际干涉系统带有相同装调误差;(5)基于虚拟干涉仪,通过同步逆向优化重建方法重建面形误差,获得最终测量结果。
技术关键词
虚实融合方法
干涉仪
误差校准
干涉系统
优化重建方法
面形误差
多项式
装调难度
回程误差
偏振光
拼接算法
建模误差
光路结构
仿真分析
偏心
元件
球面
变量