模斑转换器及高功率外腔激光器

一种模斑转换器(SSC)及高功率外腔激光器芯片，外腔激光器芯片包括宽脊增益芯片和无源外腔芯片，宽脊增益芯片一端镀高反膜作为反射端，另一端镀增透膜实现低反射，通过集成SSC实现远大于单横模波导尺寸的宽脊增益芯片的基模与小尺寸单模波导的高效耦合。SSC将大尺寸模场与小尺寸模场互相转换并有效降低光耦合损耗，通过调节纵模移相器和微环滤波器实现选模和输出波长可调，部分功率反馈回宽脊增益芯片以构建外腔谐振，实现大功率输出。本发明的SSC可显著缩小器件尺寸，兼容宽脊增益芯片及片间混合集成工艺，在保持大功率输出的同时进一步提升激光器的调谐灵活性、集成度和整体稳定性。