基于具有特定几何结构的固结磨料研磨垫的研磨表面质量预测方法

本申请提供了一种基于具有特定几何结构的固结磨料研磨垫的研磨表面质量预测方法，属于高端装备精密加工技术领域，包括：获取所述固结磨料研磨垫的几何结构参数，所述几何结构参数包括沟槽结构参数和磨粒图案分布参数；根据所述沟槽结构参数，进行流场仿真，得到表征研磨过程排屑能力的第一均匀性参数；根据所述磨粒图案分布参数，进行轨迹场仿真，得到表征磨粒运动轨迹的第二均匀性参数；根据所述第一均匀性参数和所述第二均匀性参数，综合评价研磨表面质量。