摘要
本发明涉及一种基于反对称阵列波导结构的荧光光谱仪、传感芯片及系统。其中,荧光光谱仪包括:输入部分,用于输入荧光信号;传输部分,包括与所述输入部分连接的由多条传输波导组成的波导阵列,所述传输波导的长度沿其排布方向按固定值依次增大或减小,将所述荧光信号分解成多个具有相同光程差的分束信号;输出部分,用于使所述多个具有相同光程差的分束信号在不同位置形成干涉,并输出光谱信号。本发明能够实现低成本且高集成度的芯片级荧光光谱传感器。
技术关键词
荧光光谱仪
平板波导
传感芯片
光波导结构
阵列波导
荧光材料
流入通道
弯曲
信号
波导阵列
传感结构
待测物质
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保护结构
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