非周期双通道多层膜反射镜和非周期多层膜的设计方法

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非周期双通道多层膜反射镜和非周期多层膜的设计方法
申请号:CN202510166841
申请日期:2025-02-14
公开号:CN120010041B
公开日期:2025-10-10
类型:发明专利
摘要
本发明涉及光学元件制造技术领域,尤其涉及一种非周期双通道多层膜反射镜和非周期多层膜的设计方法,所述非周期双通道多层膜反射镜在第一波段的反射率不小于15.98%,所述非周期双通道多层膜反射镜在第二波段的反射率不小于27.11%,所述非周期双通道多层膜反射镜包括:基底;位于所述基底上的非周期多层膜,所述非周期多层膜包括交替排布的钛层和铝层,与所述基底接触的一层为钛层,远离所述基底的最顶层为钛层,其中,每层钛层的厚度均不相同,每层铝层的厚度均不相同。本发明实施例提供的非周期双通道多层膜反射镜至少可以实现同时在两个波段提高反射率。
技术关键词
多层膜反射镜 周期 反射率 基底 遗传算法优化 光学元件 波长 软件 理论
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