摘要
本发明涉及芯片生产技术领域,尤其涉及一种自解锁芯片加压模具及固化单元,包括加压组件及搬运组件,加压组件包括模具主体、压柱、第一弹性件、锁扣及用于对锁扣施压以使锁扣与治具钩连锁定的第二弹性件,搬运组件包括用于夹持模具主体以对其实施搬运的夹爪,且所述夹爪夹持的同时对锁扣施压以使锁扣克服第二弹性件作用力而与治具旋转分离;本发明利用搬运组件的夹爪与模具上的锁扣配合,在夹爪将模具搬运至治具上方并松开模具后,锁扣在第一弹性件的弹力作用下将治具自动锁定,然后在夹爪夹持模具的过程中,锁扣受力旋转脱离治具实现自动解锁,从而在搬运过程中同步实现了治具的锁定及解锁,满足了流水线固化的需求,从而提高了固化效率。
技术关键词
模具主体
搬运组件
芯片
弹性件
夹持模具
解锁
加压组件
固化设备
搬运驱动机构
调节螺杆
夹持驱动机构
输送线
升降驱动机构
安装夹爪
微调机构
作用力
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