摘要
本发明提供一种模块化检测平台及芯片检测方法;模块化检测平台包括底座、支撑件、连接件、位移台和夹具;夹具安装在位移台上;夹具上设置多个工位,每个工位能够放置一个器件;支撑件的底端固定在底座上,顶端与位移台转动连接;连接件的两端分别与位移台和支撑件转动连接;支撑件和连接件均为长度可调节的结构,还能够被锁定在当前位置;检测时,模块化检测平台放置在显微镜下;通过调节支撑件的长度,控制位移台的高度;通过调节连接件的长度,控制位移台的旋转角度,以便多角度多方向观察芯片爬胶高度。如此配置,极大地提升芯片爬胶高度检测的效率、准确性和一致性,同时降低操作难度,减少因人为因素导致的误差,减轻人工负担。
技术关键词
模块化检测平台
位移台
螺纹微调装置
芯片检测方法
夹具
底座
长度可调节
螺旋
支撑件
显微镜
工位
调节旋钮
套筒
无级调节
锁孔
解锁
顶端
多角度
负担
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