模块化检测平台及芯片检测方法

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模块化检测平台及芯片检测方法
申请号:CN202510182825
申请日期:2025-02-19
公开号:CN119936629A
公开日期:2025-05-06
类型:发明专利
摘要
本发明提供一种模块化检测平台及芯片检测方法;模块化检测平台包括底座、支撑件、连接件、位移台和夹具;夹具安装在位移台上;夹具上设置多个工位,每个工位能够放置一个器件;支撑件的底端固定在底座上,顶端与位移台转动连接;连接件的两端分别与位移台和支撑件转动连接;支撑件和连接件均为长度可调节的结构,还能够被锁定在当前位置;检测时,模块化检测平台放置在显微镜下;通过调节支撑件的长度,控制位移台的高度;通过调节连接件的长度,控制位移台的旋转角度,以便多角度多方向观察芯片爬胶高度。如此配置,极大地提升芯片爬胶高度检测的效率、准确性和一致性,同时降低操作难度,减少因人为因素导致的误差,减轻人工负担。
技术关键词
模块化检测平台 位移台 螺纹微调装置 芯片检测方法 夹具 底座 长度可调节 螺旋 支撑件 显微镜 工位 调节旋钮 套筒 无级调节 锁孔 解锁 顶端 多角度 负担
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