摘要
在根据本发明的组件——例如集成电路芯片或中介层芯片(2)——中,提供了一种介电层(5),所述介电层具有平坦的上表面(9)和穿过上表面形成的第一沟槽(10),该沟槽具有基底(11)和直立的侧壁(12)。导体(4)被布置在沟槽中,该导体包括由相交替地堆叠的非磁性层和铁磁层(15,16)形成的堆叠(14)。该堆叠共形地沿着沟槽的基底和侧壁。换言之,该堆叠沿着所述基底和侧壁延伸,使得该堆叠本身限定内部沟槽(17),即第一沟槽内的第二沟槽。第二沟槽填充有导电材料的中心部(18)。铁磁层和非磁性层的堆叠(14)的存在抑制了高频下的趋肤效应。在第一沟槽的侧壁上存在堆叠不会在很大程度上适用的频率范围内恶化趋肤效应的抑制。
技术关键词
半导体组件
介电材料层
沟槽
非磁性
中介层
磁性材料
后道工序
直立侧壁
基底
趋肤效应
电导体
半导体芯片
导电
扩散阻挡层
集成电路芯片
介电层
半导体封装
半导体基板