一种无铜柱晶圆PLP封装方法

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一种无铜柱晶圆PLP封装方法
申请号:CN202510186441
申请日期:2025-02-20
公开号:CN119993847A
公开日期:2025-05-13
类型:发明专利
摘要
本申请实施例公开了一种铜柱晶圆PLP封装方法,所述方法包括:提供无铜柱晶圆和基板,将无铜柱晶圆上的所有芯片转移至所述基板上;获取所述芯片及其引脚在所述基板上的实际位置,生成定位图纸;在所述基板上形成包裹所述芯片的塑封层;将所述塑封层研磨至预设厚度,所述预设厚度大于所述芯片的厚度;根据所述定位图纸,对所述塑封层进行镭射钻孔以露出所述芯片的引脚;基于所述芯片露出的引脚进行线路制作以完成最终的芯片封装。通过本申请实施例,以解决如何对无铜柱的晶圆进行PLP封装的技术问题。
技术关键词
封装方法 镭射钻孔 基板 图纸 种子层 线路 芯片封装 表面处理工艺 拐角 光刻胶 外延 双面胶 包裹 电镀 影像
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