图像品质改进的显微镜和显微镜检查方法

本发明涉及一种显微镜，显微镜具有：成像光路，成像光路将样本成像到二维检测器上且包括物镜；以及照明光路，照明光路照亮样本、包括光源并且被镜面反射到成像光路中；以及测量装置，在测量装置的下游布置有光调制器，光调制器包括调制强度的第一线性光栅结构，光调制器相对于与物镜的焦平面共轭的平面倾斜并被投射到样本上，调制强度的第一线性光栅结构被投射到样本的测量区域中，测量区域仅部分地填充像场，并且测量装置具有处理器，处理器读取由检测器提供的图像数据并将图像数据分成测量数据和用于显示样本图像的显示数据，处理器将与样本的测量区域相对应的图像数据选择为测量数据，依据投射到样本上的线性光栅结构的反射图像分析测量数据。