向量拟合结合神经网络传递函数的MEMS建模方法

本发明提供了一种向量拟合结合神经网络传递函数的MEMS建模方法，涉及微机电系统技术领域。本发明实施例基于向量拟合结合人工神经网络传递函数算法，可以预测出具有不同几何尺寸、材料特性的MEMS器件的性能曲线对应的拟合参数，进而得到具有不同几何尺寸、材料特性的MEMS器件的性能曲线，对MEMS器件的建模过程进行快速、准确的模拟和分析，并且可以指导MEMS设计师进行器件优化。