摘要
本发明公开了一种避免气泡产生的芯片局部涂覆装置,涉及芯片分析处理设备技术领域,包括机体外壳和通气组件,所述机体外壳侧壁设置有通气组件,且机体外壳上设置有操作面板,所述通气组件包括通气孔、密封槽、压气槽、压气板、密封板、通孔、隔尘网和气泵,所述机体外壳两侧对称设置有通气孔,且通气孔中部设置有密封槽,所述密封槽一侧设置有压气槽,且压气槽内设置有压气板,所述压气板一侧连接有密封板,且密封板表面开设有通孔,所述机体外壳一侧的通气孔内连接有隔尘网,且机体外壳另一侧的通气孔一侧通过管道连接有气泵。本发明在使用时,可以将芯片置于密闭空间内,并对装置内进行抽气,从而去除硅脂内的气泡,保证涂覆效果,且可以避免灰尘粘附到芯片上,也便于在观察和涂覆时对芯片进行移动。
技术关键词
机体外壳
涂覆装置
通气组件
通气孔
气泡
密封板
芯片
调节杆
输送组件
压力板
蠕动泵
动力轮
隔尘网
锁定组件
压气弹簧
传动轮
滑动板
压力传感器
气囊
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