一种射频电源电弧快速检测方法及系统

本发明属于射频电源检测技术领域，公开了一种射频电源电弧快速检测方法及系统，该方法包括获取耦合器对输出射频信号耦合后的电压信号与电流信号；对电压信号与电流信号进行采样，并进行数字信号处理，计算电压信号与电流信号的幅度值；选取多个采样点，分别计算电压变化速率与电流变化速率；比较电压变化速率，比较电流变化速率与额定值的阈值完成电弧判断。本发明利用FPGA做主控芯片，采样芯片用高速AD，具有高实时性的优势，通过判断电压以及电流的变化速率来判断是否出现电弧现象，从而可以避免电压和电流的阈值难以选取的问题。计算延时短，响应迅速，判断准确率高，且能够在极短的时间内得到判断结果。