一种半导体零件的颗粒沉积测试方法及系统

本申请提供了一种半导体零件的颗粒沉积测试方法及系统，涉及半导体零件测试技术领域，包括：将待测试冷盘固定至冷盘颗粒物检测装置；根据冷盘型号信息进行测试策略配置；将气体流动测试策略加载至高纯氮气供应模块；将高纯氮气导入冷盘颗粒物检测装置；高纯氮气流经待测试冷盘的内部流道后，从气体出口经由分配器逐步流入颗粒检测设备集群；对颗粒检测设备集群进行测试数据采集；对颗粒沉积测试数据进行多维分析，输出多元沉积测试结果。通过本申请可以解决现有技术中由于对半导体冷盘内部进行洁净度检测时不够深入或精准，导致检测数据稳定度和可信度较低的技术问题，通过冷盘颗粒物检测装置进行检测，显著提高了检测数据的稳定度和可信度。