抛光连续作业控制方法和控制系统

本申请公开了一种抛光连续作业控制方法和控制系统，属于抛光技术领域。该抛光连续作业控制方法包括如下步骤：步骤1：根据对抛光作业连续性的影响，将抛光系统划分为若干个器件单元；步骤2：基于各器件单元之间的串、并联关系，构建马尔科夫模型；步骤3：获取抛光系统在未来预定时间内的抛光计划，生成各器件单元的生产任务；步骤4：基于马尔科夫模型，计算各器件单元完成生产任务的正常状态概率，并计算出整个抛光系统完成生产任务的正常状态概率；步骤5：计算各抛光计划的生产速度，基于抛光系统完成生产任务的正常状态概率和生产速度筛选出最佳的抛光计划。本申请所提供的技术方案在连续作业场景下，能够准确调整抛光系统的冗余配置，以较低的系统构建成本实现资源的最大化利用，从而显著提升整体生产速度。