摘要
本发明公开了一种适用车载高可靠性芯片的封装方法,其既保留了黑胶的遮光效果,又不会有undercut,且解决了表面均匀性不好带来的可靠性失效。其特征在于:将第一感光膜组合到玻璃上,经过光刻制程形成围堰;然后,完成CIS晶圆键合、硅通孔刻蚀以及RDL制作;最后,在硅片表面再贴合一层符合厚度需求的第二感光膜作为阻焊层,经过光刻制程后再完成后制程TSV封装。
技术关键词
封装方法
光刻制程
围堰
芯片
封装结构
黑色
涂布
玻璃
硅片
介电层
黑胶
焊球
半成品
通孔
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