TCAD仿真工具精度验证方法、装置和电子设备

本申请实施例提供了一种TCAD仿真工具精度验证方法、装置及电子设备，涉及验证仿真技术领域。其中，方法包括：获取TCAD仿真输出的仿真节点序列；对所述仿真节点序列中的相邻两个节点，根据所述两个节点在仿真条件上的变化量以及所述两个节点与相邻一个节点的变化率度量选择第一插值法或者第二插值法；采用选择的第一插值法或者第二插值法对所述相邻两个节点所构成的区间进行插值；对所述仿真节点序列插值后得到标准曲线，采用所述标准曲线进行精度验证。本申请提供的实施方式提升了采用仿真数据点不足的仿真数据点进行精度验证的准确性。