基于SPC的晶圆生产工艺流程质量管控系统及管控方法

本发明公开了一种基于SPC的晶圆生产工艺流程质量管控系统及管控方法，系统包括历史数据管理模块、报警管理模块、计划管理模块、规则管理模块、CPK报表管理模块和控制图模块；历史数据管理模块，用于存储生产过程中上传至系统的数据；报警管理模块，用于在参数违反SPC控制规则时生成报警信息；计划管理模块，用于创建、查询、修改和删除作业的管控计划；规则管理模块，用于展示系统定义的控制规则；CPK报表管理模块，用于根据历史数据生成过程能力分析报表；控制图模块，用于实时展示参数的控制图。本发明能够实现精确的监控和分析，减少问题延迟识别，降低生产中断和质量缺陷风险，提升生产效率和产品质量。