一种片上太赫兹耦合器芯片

本发明提供了一种片上太赫兹耦合器芯片，由F‑P谐振腔、弯曲波导、锥型耦合波导、衬底结构组成，F‑P谐振腔由左右对称的布拉格光栅和位于中间的单模波导构成，用于对特定频率的信号产生谐振，实现滤波的效果；弯曲波导，用于传输太赫兹信号，其两端为锥型耦合波导，锥形耦合波导作为信号的输入和输出端口；衬底，用于固定F‑P谐振腔和弯曲波导。本发明耦合器芯片实现太赫兹高效耦合的同时，还能控制太赫兹波的传播，实现不同波段的滤波，该耦合器芯片结构实现了片上波导集成，提高了滤波选择性、降低了插入损耗、增强了带外抑制，并且实现大规模制造。