摘要
本发明属于薄膜压力敏感芯片制造技术领域,具体的说是一种薄膜压力敏感芯片制造用切割装置及切割方法,包括放置框和切割电机;所述放置框的下侧和前侧均为开口状态;所述放置框外侧壁上安装有切割电机;所述切割电机的输出端设有第一转动轴,且第一转动轴伸入放置框内;所述第一转动轴端部安装有金刚石片;所述放置框内设有一对对称分布的收集块,且一对收集块关于金刚石片对称分布;一对所述收集块相对面均为倾斜面,且倾斜面均通过第一内弧面和过度弧面组成;所述收集块内开设有第一空腔;所述第一内弧面上开设有第一通槽,且第一通槽和第一空腔相互连通;以解决现有金刚石片对圆晶切割时,切割产生的颗粒物影响圆晶切割质量的问题。
技术关键词
压力敏感芯片
切割装置
切割电机
过滤网
金刚石
吸附块
薄膜
空腔
覆盖板
切割方法
弧面
滑板
转动轴
移动板
倾斜面
推动板
调节件
凹槽
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