摘要
本发明属于水导激光加工技术领域,涉及一种水导激光光学路径的精确控制方法,包括:激光发生器、光学聚焦系统、水导系统、光学检测系统、控制系统;本方法步骤包括:1、光学聚焦系统控制;2、水导系统的控制;3、光学检测系统的控制;4、控制系统的设计;5、水导激光调试流程完成后,进行产品加工;本发明通过精确控制水导激光的光学路径,可以将激光束聚焦到更小的区域,提高加工精度,本发明可以将加工精度提高到亚微米级别;因此本发明水导激光光学路径的控制精度更高,并且本发明还可以减少加工时间,提高加工效率,减少加工过程中的热损伤。
技术关键词
光学聚焦系统
精确控制方法
光学检测系统
激光束
激光发生器
光电探测器
神经网络控制算法
仿真分析
水喷嘴
数学模型
光学传感器
建立控制系统
优化控制算法
模糊控制算法
电机驱动系统
系统控制
光学系统
精度