一种基于热电制冷的低温黏附转移装置及转移方法

本发明提供一种基于热电制冷的低温黏附转移装置及转移方法，属于抓取和转移设备技术领域，包括制冷部、保温冷水箱和保温热水箱，保温冷水箱和保温热水箱分别与制冷部的两端相连通；制冷部包括导热板、热电制冷片和散热流道，热电制冷片均匀分布于导热板上，散热流道布于热电制冷片上，散热流道两端分别与多通管相连通。本发明制冷部由热电制冷片作为制冷源，依靠保温冷水箱和保温热水箱将热电制冷片两端的制冷和制热都进行了有效利用；散热流道使得热电制冷片制冷效率更高；均匀分布的热电制冷片可使制冷部具有较高的制冷均匀性和较低热耦合性，使得制冷更快，本发明能够更加快速的、低能耗高效率地实现单层裁片抓取。