摘要
本申请涉及散热组件领域,具体公开了一种过渡热沉及其制备方法,该过渡热沉包括钨铜合金基材,钨铜合金基材沿热传导方向开设有若干导热孔,导热孔呈阵列排布,导热孔由外向内依次填充有增强合金层和金刚石层,增强合金层包括由外向内依次设置的MoxCu1‑x合金层和TiyWzC合金层。钨铜合金基材承载芯片,基材内部由金刚石层贯穿,钨铜合金和金刚石层之间通过增强合金连接,增强合金层起到缓冲作用,分散热应力,有效降低界面处的应力集中;过渡热沉既能在水平以及垂直方向上均具备高热导率,又能改善与芯片的热膨胀系数匹配特性,经过模拟检测,芯片结温降低至38℃以下,芯片寿命延长,半导体激光器的可靠性提高。
技术关键词
钨铜合金
热沉
金刚石
导热
基材
碳化钛粉体
纳米级粉体
半导体激光器
热传导
寿命延长
芯片
散热组件
碳化钨
结温
钨粉
阵列
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