一种单晶炉的拉晶温度控制方法

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一种单晶炉的拉晶温度控制方法
申请号:CN202510241457
申请日期:2025-03-03
公开号:CN120099623A
公开日期:2025-06-06
类型:发明专利
摘要
本发明涉及拉晶技术领域,提供了一种单晶炉的拉晶温度控制方法,收集温度控制过程中的训练数据集,并建立温度控制模型;多次获取单晶炉内的固液比例,得到一段时间内单晶炉内的平均固液比例和该固液比例随时间的波动情况;基于固液比例随时间的波动情况,控制导流筒的升降;将平均固液比例发送至温度控制模型,由此控制降低底加热器功率、关闭底加热器、二次开启底加热器、降低主加热器功率和升高主加热器功率;降低主加热器功率后,进行定埚位操作,并比较调节加热器时炉内固液比和调节加热器后一段时间内的平均固液比,判断是否二次开启底加热器和/或升高主加热器功率,避免炉内热量不足影响后续化料,保证定完埚位后液温在标准范围内。
技术关键词
加热器 温度控制方法 单晶 固液 功率 导流筒 固体 拉晶技术 图像 参数 CCD相机 神经网络模型 数据 服务器 液体 炉台 视觉 样本
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