一种用于芯片分选质量监测预警装置及方法

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一种用于芯片分选质量监测预警装置及方法
申请号:CN202510241594
申请日期:2025-03-03
公开号:CN120177994A
公开日期:2025-06-20
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种用于芯片分选质量监测预警装置,涉及质量监测技术领域,包括测试样品抽取模块,所述测试样品抽取模块用于预设抽样时序间隔,并以所述抽样时序间隔为约束对同批次芯片集进行测试样品抽取,获得多个芯片测试样品;芯片分选检测模块,所述芯片分选检测模块用于交互获得标准分选检测流程,本发明中的芯片分选质量监测预警装置及方法通过质量监测流程和评估模型,能够量化每个芯片测试样品的质量偏差程度,这提高了对质量偏差分析的准确度,使得质量问题可以更精准地定位,有效解决了现有技术中质量监测精确性、评价标准化和实时预警能力不足的问题,为芯片生产过程提供了更高的质量保障和管理效率。
技术关键词
测试样品 监测预警装置 芯片 偏差 基准 瑕疵 模块 时序 监测预警方法 信号 指标 节点 监测技术 标识 概念 资料 级联 参数 尺寸
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