一种用于光栅干涉仪的安装误差的校准方法

本发明提供一种用于光栅干涉仪的安装误差校准的方法，所述方法为：选择能反映光栅与读数头相互之间影响的点作为参考点，使用光栅干涉仪对参考点进行测量得到条纹数，经过计算得到读数头位移，根据读数头位移设置点之间的函数关系进行最小二乘拟合，得到反映几何误差的参数；更新参数后重新计算工件台位置，完成对光栅干涉仪几何误差的校准。本发明可用于光栅干涉仪安装误差的校准、纳米级光栅干涉位移测量系统算法的优化。