摘要
本发明提出一种集成线性模式和盖革模式的光电探测器及其工作方法,包括位于上层的盖革模式探测器芯片和位于下层的线性模式探测器芯片,所述盖革模式探测器芯片和线性模式探测器芯片通过在N电极区域进行倒装焊实现芯片的键合与集成;所述盖革模式探测器芯片采用多元光子计数器MPPC,所述线性模式探测器芯片采用大光敏面雪崩光电二极管LAAPD。通过探测过程本身,自适应选择不同工作模式,利用不同工作模式的各自优势,在消除“时间盲区”和“空间盲区”的同时,尽可能达到资源消耗和系统效率的最优化。
技术关键词
光子计数器
雪崩光电二极管
光电探测器
大光敏面
盖革模式
芯片
制作微透镜阵列
线性
多层金属结构
衬底片
铟柱
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电极
光信号
中间层
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