摘要
本发明公开了一种基于机器视觉的半导体封装缺陷检测系统,涉及半导体封装缺陷检测技术领域,包括,多光谱采集模块,使用多光谱相机和光源,从不同角度采集封装表面的多波段图像,并对多波段图像进行预处理;图像融合模块,采用图像融合算法将预处理后的各波段图像融合为综合图像;光照调节模块,对综合图像进行光照质量分析,基于质量分析结果调整光源参数并重新采集多波段图像,本发明有益效果为:本发明通过多光谱图像的全面性、图像融合的细节增强能力、动态光照调节的稳定性、深度学习的特征提取能力以及自编码器的异常检测能力,全面解决了现有技术在图像质量不稳定、特征提取能力不足、误差判定不精准等方面的不足。
技术关键词
半导体封装缺陷检测系统
重构误差
卷积特征
多光谱相机
多波段
图像融合算法
亮度
光照
LED光源
封装体
视觉
特征提取能力
直方图均衡化
特征提取器
编码器
多光谱镜头
旋转平台