射频离子源瞬态响应电源控制系统

本发明公开了射频离子源瞬态响应电源控制系统，属于电源技术领域，包括MCU控制器和保护电路模块，所述MCU控制器连接有数字控制器，所述MCU控制器连接有PID控制算法，所述MCU控制器连接有电源主芯片，所述电源主芯片连接有离子源，所述电源主芯片连接有反馈监测；本发明，通过设置MCU控制器、数字控制器、PID控制算法、电源主芯片、离子源、反馈监测、开关频率调节模块和保护电路模块，在各模块的相互配合下，能够使得电源在启动和关闭过程中平稳过渡，并能够有效减少电流和电压的波动，全面提升电源控制系统的稳定性和可靠性，从而能够显著延长电源和整个电源控制系统的使用寿命，同时也能够提升电源的瞬态响应能力。