摘要
本发明涉及一种倒装芯片键合技术用微乳液清洗剂及其制备方法和应用,所述清洗剂由油相组分1.5‑3%、表面活性剂复合物2‑5%、清洗助剂2‑3%、缓蚀剂复合物0.2‑0.6%、超纯水补齐至100%组成。所述的清洗剂用于倒装芯片键合技术中清洗半导体芯片,可有效清洗倒装芯片键合后产生的极性、非极性、颗粒污染物。
技术关键词
倒装芯片键合技术
清洗剂
缓蚀剂
清洗助剂
复合物
乳液
脂肪酸甲酯乙氧基化物
清洗半导体芯片
脂肪酸甲酯磺酸钠
长碳链脂肪酸
十二烷基二苯醚
超声波清洗
脂肪醇硫酸盐
超纯水
二丁醚
阴离子表面活性剂
脂肪醇聚氧乙烯醚