一种VCSEL芯片金属蚀刻设备

本发明公开了一种VCSEL芯片金属蚀刻设备，涉及芯片金属蚀刻设备技术领域。包括主机箱、浸泡池、浸泡组件、升降驱动组件、盖板和吸气格栅，本发明利用升降驱动组件带动浸泡组件上下移动和旋转，从而带动晶圆浸泡或转动。通过扇片环的伸缩，使搅拌扇片在伸出扇叶槽的状态下，可以对蚀刻液进行搅拌，确保晶圆周围的蚀刻液均匀流动，让晶圆表面与蚀刻液的接触更加均匀，防止局部过刻或欠刻；当晶圆进行上料时，搅拌扇片回缩在扇叶槽内，防止晶圆上料时被搅拌扇片阻挡或刮花。通过设置弹簧伸缩杆，利用弹簧伸缩杆自身的收缩，来避免夹持力度过大而造成晶圆损坏，柔性压条采用柔性材料制成，防止其与晶圆之间产生剐蹭，达到对晶圆的双重夹持防护。